説明

プラズマと壁面の相互作用を記述するモデルで、特に壁面近傍のシース領域に関するBohm条件を取り入れたもの。イオンが負電位の壁に向かう際、ある臨界速度（音速程度、Bohm速度）でシースに入らなければならないというBohm条件があり、本モデルではそれを満たすよう壁面でのプラズマ粒子挙動を制御する。結果として、プラズマ中のイオン・電子の壁面への到達フラックスや反応を正確に評価でき、プラズマCVDやエッチング解析で壁面反応速度やスパッタリング率の見積もりに用いられる。