説明

表面反応シミュレーションにおいて、複数の固体生成物（バルク相）が同時に成長するプロセスを指す。例えば化学気相成長（CVD）で二種類以上の固体層が順次または同時に堆積する場合、それぞれの成長を追跡する必要がある。本モデルでは各生成相について成長速度式や供給源を個別に設定し、時間とともに複数種の固体堆積や結晶成長を計算する。これにより合金や複合材料膜の生成、あるいは気泡核生成と析出物成長が併発する現象など、単一種ではない固相成長をCFD上で評価できるようになる。