説明

低温プラズマの壁近傍挙動を記述する経験モデルで、イオンがデバイ長程度移動する際の電位差関係式。CFDではプラズマ流れ解析で境界条件として使われ、プラズマ推進や半導体エッチング装置内のプラズマ挙動を予測する際に用いる。