Advance/FrontFlow/redの表面反応モジュール「SurfChem」を紹介します。
CVDプロセスシミュレーションにより、以下の⼀連のプロセス全ての相関が再現可能です。
・乱流、対流熱伝達、気相化学変化等を含んだ装置内における3次元流れ
・気相境界層における化学変化
・基板表⾯における薄膜成⻑(表⾯化学反応モデル)
・反応・脱離後の排気ガス組成
関連資料
Advance/FrontFlow/red
Advanced/FrontFlow/redの資料です。
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